第55回研究会 プログラム（2020.3.2-3）

開催日時：2021年3月2日(火) 13:00 ～ 3日(水)
開催場所：オンライン会議

第1日目： 3月2日(火)

  • 13:00 ～ 13:30参加受付
  • 13:30 ～ 13:35開会挨拶
    伊藤
  • 13:35 ～ 13:40オンライン講演会における注意事項
    牧野
  • 依頼講演
    • 13:40 ～ 14:20材料データプラットフォームとしての計測データの収集・判読化・付加価値化・共用の処理の自動化
      吉川英樹（物質・材料研究機構）
    • 14:20 ～ 15:00最新のレーザー技術を用いた「第２世代」レーザーSNMSの開発と展望
      坂本哲夫（工学院大学）
    • 15:00 ～ 15:20休憩
  • テーマ講演-FIB-SIMS-1
    • 15:20 ～ 16:00FIB-SEMに搭載したTOF-SIMS測定と応用
      村田薫（日本エフイー・アイ株式会社）
  • テーマ講演-標準化-1
    • 16:00 ～ 16:40標準物質と表面分析（仮）
      黒河明（産業技術総合研究所）
  • 16:40 ～ 17:30休憩
  • 17:30 ～ 19:30懇親会

第2日目： 3月3日(水)

  • 9:30 ～ 10:00参加受付
  • テーマ講演-標準化-2
    • 10:00 ～ 10:40ISO/TR-22335:2007 スパッタ速度の測定法ーメッシュレプリカ法 について（仮）
      奥村洋史 （三菱マテリアル株式会社）
    • 10:40 ～ 11:20ISO14701:2018 X線光電子分光法によるシリコン酸化膜の測定方法について（仮）
      ○山内 康生、大泉 翔也、大西 里佳（矢崎総業（株））更新
    • 11:20 ～ 12:00相互校正法による酸化物薄膜の膜厚測定
      牧野久雄（高知工科大学）
  • 12:00 ～ 13:30- 昼食 -（研究会では準備いたしませんので各自でお取りください）
  • テーマ講演-標準化-3
    • 13:30 ～ 14:10Thickness measurement of ultra-thin HfO2 films by mutual calibration
      Kyung Joong Kim (Korea Research Institute of Standards and Science)
    • 14:10 ～ 14:50SIMSの国際標準化と二元有機物の定量法
      〇高野明雄（トヤマ）、黒河明（産総研）、青柳里果（成蹊大）
    • 14:50 ～ 15:05休憩
  • テーマ講演-FIB-SIMS-2
    • 15:05 ～ 15:45FIB-SEMに搭載したTOF-SIMSの測定事例と今後の応用
      鈴木直久　（株式会社東陽テクニカ）
    • 15:45 ～ 16:15FIB-TOFによる有機・無機ハイブリッド材料の断面観察（仮）
      飯田真一（アルバック・ファイ株式会社）
  • 16:15 ～ 16:20連絡事項
    伊藤
  • 16:20 ～ 16:25閉会挨拶
    永富

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