第38回表面分析研究会（2月9−10日）でのWG活動について
SASJ WG担当
永富隆清（大阪大学）
第38回表面分析研究会においてもWG討議の時間を確保いたします． 今回は，講演委員会の新しい試みとしてパネルディスカッションが行われるため，WG討議の時間が通常より短くなっております． 十分な討議を行うには討議時間が短いかとは思いますが，是非，ご参加いただくようお願いいたします． なお，各WGの討議予定は以下の通りです．
- ◆ToF-SIMS WG
- TOF-SIMS WGでは現在発足当時からのテーマである表面に存在する化学種の同定に必要な質量較正手順の標準化を目指し，これまで共有化してきたナレッジのまとめとしてのラウンドロビンテストを行っています．
これまでのラウンドロビンテストで得られた知見を生かし、よりよい手順を構築 するため、今回の研究会におけるWG討議では以下を予定しています．
1. 上記ラウンドロビンテストの進捗
2. 質量較正に関わる因子の深堀り
- ◆DP-WG
- 深さ分析WGでは，現在，高深さ分解能・高感度スパッタ深さ分析を実用レベルで実現することを目的とした活動を行っています．そのために，まず基本となる，イオンビームのアライメント方法について検討を行っています．
また，「界面」評価に関する実用的な定義作成を目指した活動も行っています．まず分析担当者の要望を把握するためのアンケートを実施し，現場の声を反映させた定義となるよう検討を行っています．
次回のWG討議では，以下を予定しています．
1. イオンガン調整の共通レシピの配布と説明
2. 「界面」に関するアンケート結果に関して
- ◆XPS
- XPS-WGではイオンスパッタ後表面の分析において「帯電」や「スパッタダメージ」をうけたスペクトルの変化などのために化学状態分析を行うことが困難になるという現状に対し，具体的な課題を抽出し，課題解決につながる取組を行っています．
現在、ダメージ低減化を目指したスパッタ方法として斜入射スパッタの検討を始めています．
次回WGでは以下の討議を予定しています．
1. 試し実験結果報告
2. ラウンドロビン試験実施方法について