「スキルアップのための電子分光法講座」プログラム
２００１年７月１８日（水）〜７月１９日（木） 物質・材料研究機構 材料試験事務所 51号庁舎 大会議室|
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| 時間 | 講演題目 | 講師 | 講演内容（予定） |
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| 10:00-11:00 | 固体中の電子の運動を見る | 城 昌利 （産業技術総合研究所) |
・固体内での電子の相互作用（ピーク、バックグラウンドになる電子）、 分析深さ、IMFP、DDF 等。 ・バックグランドを解析するための予備知識 |
| 11:00-12:00 | エネルギー軸・強度軸をそろえる | 吉武 道子 （物質・材料研究機構) |
・電子分光の標準化 ・エネルギ軸 強度軸校正の必要性 有用性 |
| 13:20-14:20 | 試料を取り付ける | 高野 みどり （松下テクノリサーチ) |
・試料の前処理から取り付けまで ・変わった形状の試料 絶縁物試料取り付けの注意 修飾法 |
| 14:20-15:20 | チャージアップを抑える | 岩井 秀夫 （アルバック・ファイ) |
・チャージアップ防止測定方法（試料取り付け以降） ・チャージアップ補正方法 不均一チャージアップの見分け方 |
| 15:30-16:30 | 試料損傷を抑える | 當麻 肇 （日産アーク) |
・試料損傷の実例 評価方法 ・損傷を抑える分析方法 |
| 16:30-17:00 | 本日の質疑 | 講師全員 | |
| 18:00-20:00 | 懇親会 | ||
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| 時間 | 講演題目 | 講師 | 講演内容（予定） |
| 9:45-10:45 | 深さ方向情報を得る | 荻原 俊弥 （NTTアドバンストテクノロジ) |
・測定方法 スパッタ収率について ・Logistic 関数を用いたオージェデプスプロファイルの定量的評価方法 |
| 10:45-11:45 | データ処理の裏側 | 高橋 和裕 （島津製作所) |
・各種データ処理方法のアルゴリズム ・適切なデータ処理方法（スムージング、バックグラウンド、ピーク分離） |
| 13:00:-14:00 | ＸＰＳスペクトルを解析する | 名越 正泰 （ＮＫＫ基盤技術研究所) |
・スペクトルに現れるもの、バックグラウンドから得られる情報 ・定性分析の注意点 定量分析からわかること ・状態分析のコツ |
| 14:00-15:00 | ＡＥＳデータを解析する | 中村 誠 （富士通分析ラボ) |
・スペクトルに現れるもの ・状態分析の可能性 ファクターアナリシス |
| 15:10-15:55 | データベースを利用する | 武内 豊 （電気化学工業) |
・既存データベースの紹介 ・データベースの落とし穴 |
| 15:55-16:40 | 情報を共有化する | 柳内 克昭 （ＴＤＫ) |
・Common Data Processing System の紹介 ・表面分析スペクトルデータベースの利用方法 |
| 16:40-17:10 | 本日の質疑 | 講師全員 |
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