実用表面分析セミナー '06
ー ISO 規格を基礎とした表面分析の実際 ー
プログラム
7月13日(木) 1.12:00 - 13:00 AES, XPSの装置性能パラメータの記述法 - 装置比較のために -
鈴木 峰晴(アルバック・ファイ)2.13:00 - 14:00 分析試料の取付け法と帯電補償・補正に関する記述法
當麻 肇(日産アーク)3.14:00 - 15:00 AES, XPS分析における空間分解能と分析領域の決定法
井上 雅彦(摂南大学)4.15:15 - 16:15 AESのエネルギー軸の校正法 - 元素分析と状態分析のために -
境 悠治(日本電子)5.16:15 - 17:15 XPSのエネルギー軸の校正法 - 状態分析のために -
橋本 哲(JFEテクノリサーチ)7月14日(金) 1.10:00 - 11:00 XPSとAESの強度軸の直線性の評価法 - 正しい計測のために -
吉原 一紘(アルバック・ファイ)2.11:00 - 12:00 XPSとAESの強度軸の繰り返し性と恒常性の評価法 - 正しい計測のために -
荒井 正浩(住友金属工業)3.12:00 - 13:00 XPSのバックグラウンド処理法 -ISO/TR 18392:2005の紹介-
福島 整(物質・材料研究機構)4.14:00 - 15:00 AES, XPSにおける感度係数法による定量 - 定量性を高めるために -
田沼 繁夫(物質・材料研究機構)5.15:00 - 16:00 SIMSによる定量 - 参照試料の利用法 -
高野 明雄(NTTアドバンステクノロジ)6.16:00 - 17:00 ISO規格における代表的な表面分析用語解説
後藤 敬典(産業技術総合研究所)7. 総合討論