第39回表面分析研究会（2012年6月25−26日）でのWG活動について
SASJ WG担当
永富隆清（大阪大学）
第39回表面分析研究会においてもWG討議の時間を確保いたします．今回からは当日の討議の時間を十分確保することと，初めてWG討議に参加される方，あるいは久しぶりに参加される方がWGでの討議内容について事前に情報を入手できることを目的として，新たにWG活動紹介のWebページを公開いたしました．過去のWG討議での討議予定や討議に用いられた資料，機関誌（JSA: Journal of Surface Analysis)への報告記事などを閲覧できるようにしています．当日WG討議へ参加される場合は事前にご確認いただけますと幸いです．では，皆様のご参加をお待ちしております．
なお，各WGの討議予定は近日中に公開いたします．
- ◆SASJ-WG活動紹介
- こちらのページをご覧ください．
- ◆ToF-SIMS WG
- TOF-SIMS WGでは現在発足当時からのテーマである表面に存在する化学種の同定に必要な質量較正手順の標準化を目指し，これまで共有化してきたナレッジのまとめとしてのラウンドロビンテストを行っています．
今回はこのラウンドロビンテストの進捗に加え，昨年9月にイタリアで開催された第18回SIMS国際会議 (SIMS-XVIII) のサテライト行事として行われた“SIMS International School”の紹介，一部のTOF-SIMS装置のソフトにおけるピーク位置決定に関する論文紹介を行い，ナレッジの共有化を進める予定です．
- ◆DP-WG
- 深さ分析WGでは，現在，高深さ分解能・高感度スパッタ深さ分析を実用レベルで実現することを目的とした活動を行っています．そのために，まず基本となる，イオンビームのアライメント方法について検討を行っています．
また，「界面」評価に関する実用的な定義作成を目指した活動も行っています．まず分析担当者の要望を把握するためのアンケートを実施し，現場の声を反映させた定義となるよう検討を行っています．
- ◆XPS
- XPS-WGではイオンスパッタ後表面の分析において「帯電」や「スパッタダメージ」をうけたスペクトルの変化などのために化学状態分析を行うことが困難になるという現状に対し，具体的な課題を抽出し，課題解決につながる取組を行っています．
現在、ダメージ低減化を目指したスパッタ方法として斜入射スパッタの検討を始めています．