第34回表面分析研究会プログラム PDF 版
「オージェ電子分光の実力と将来像」
開催日時: 2010年 3月 4日(木) 13:40 ~ 5日(金) 16:00 開催場所: キャンパスプラザ京都
第1日目: 3 月 4 日(木) テーマセッション
13:00 ~ 13:30 参加登録受付 13:30 ~ 13:40 開会挨拶 テーマセッション基調講演 13:40 ~ 14:30 オージェ電子分光の果たしてきた役割と今後の展望 吉原 一紘(オミクロンナノテクノロジージャパン(株)) テーマセッション通常講演 14:30 ~ 15:00 オージェ電子分光法による化学状態分析 堤 建一(日本電子(株)) 15:00 ~ 15:30 CMAオージェの特徴と有用性 眞田 則明, 鈴木 峰晴(アルバック・ファイ(株)) 15:30 ~ 15:50 休憩(20分) 15:50 ~ 16:20 【PSA-09 Powell賞受賞記念講演】
半球型電子分光器を搭載したオージェ電子分光
装置のジオメトリー特性と傾斜ホルダーを利用した
超高深さ分解能オージェ深さ方向分析荻原 俊弥((独)物質・材料研究機構) 16:20 ~ 16:45 オージェ電子分光法での帯電対策 甕 久美((株)日立製作所 中央研究所) 16:45 ~ 17:10 高真空下のオージェ測定 小西 郁夫((株)島津製作所) フリートークセッション(皆さんの自由な討議の場として御利用いただく時間です) 17:10 ~ 17:30 フリー フリー 懇親会 18:30 ~ 20:30 懇親会
第2日目: 3 月 5 日(金)
9:15 ~ 9:30 参加登録受付 プロジェクト/WG 報告 9:30 ~ 10:00 電子線損傷プロジェクト報告 木村 隆((独)物質・材料研究機構) 10:00 ~ 10:20 ToF-SIMS WG 報告 阿部 芳巳(三菱化学(株)) 10:20 ~ 10:40 XPS WG 報告 當麻 肇((株)日産アーク) 10:40 ~ 11:00 休憩(20分) 11:00 ~ 11:20 Background プロジェクト報告 田沼 繁夫((独)物質・材料研究機構) 11:20 ~ 11:40 ノイズ評価プロジェクト報告 福島 整((独)物質・材料研究機構) 11:40 ~ 13:20 昼食・休憩(100分) 話題提供 13:20 ~ 13:45 究極のクラスタ分類器の紹介
-AESスペクトルデータ等への応用-徳高 平蔵((有)SOMジャパン) 13:45 ~ 14:10 反射電子エネルギー損失スペクトルにおける
因子分析の基礎的扱い吉川 英樹((独)物質・材料研究機構) 14:10 ~ 14:35 多変量解析のTOF-SIMSイメージへの応用 河野 禎市郎(旭化成(株)) 14:35 ~ 14:55 休憩(20分) 14:55 ~ 15:20 オージェ電子分光装置を用いたハードディスク
読み書き用ヘッド表面のDLC膜厚測定法松村 純宏
((株)日立グローバルストレージテクノロジーズ)15:20 ~ 15:45 XPSによける酸化銀のケミカルシフト 薗林 豊(京都大学) 連絡・挨拶 15:45 ~ 16:00 連絡、閉会挨拶 変更がありましたら、そのつどご案内いたします。
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