第31回表面分析研究会プログラム
「実用表面分析の今」２００８年３月６日（木）１３：００〜３月７日（金）１６：００
| ３月６日（木） | ||
| 12:30〜13:00 | 参加受付 | |
| 13:00〜13:05 | 開会挨拶 | 柳内克昭（TDK) |
| 13:05〜13:35 | PSA-07 Powell賞受賞講演 | |
| 「Transmission characteristics of the absolute CMA and new DATA-BASE; Ge(111)」 | Adel Alkafri (名古屋工業大学) | |
| 13:35〜14:35 | 招待講演 | |
| 「クラスターイオンの新しい展開 〜ナノプロセスから先端分析応用〜 」 | 松尾 二郎（京都大学） | |
| 14:35〜17:30 | プロジェクト＆新企画提案 | |
| 「試料損傷」 | 鈴木 昇（宇都宮大） | |
| 「電子線損傷」 | 佐藤 秀勝（NIMS） | |
| 「Background」 | 田沼繁夫（NIMS） | |
| 「TOF-SIMS」 | 阿部 芳巳（三菱化学科学技術研究センター） | |
| 「新ワークショップ提案」 | 永富隆清 (大阪大学） | |
| 「XPSミニラウンドロビンテスト提案」 | 當麻 肇（日産アーク） | |
| 「XPSピーク検出」 | 後藤 敬典 (AIST) | |
| 18:00〜20:00 | 懇親会 | |
| ３月７日（金） | ||
| テーマ講演 「実用表面分析の今」 | ||
| 09:30〜10:10 | 「電子分光法の動向」（仮題） | 吉川 英樹（NIMS） |
| 10:10〜11:50 | PSA07注目ポスター講演 | |
| 「XPSにおける単色化AlKαX線の強度測定」 | 岩井 秀夫（NIMS） | |
| 「FIBで作製した薄片試料による深い界面のAESデプスプロファイル測定方法」 | 佐藤 美知子 (富士通クオリティ・ラボ) | |
| 「XPS,SEM,SPMを用いた帯電液滴クラスターイオン照射によるSiウエハ・高分子表面の解析」 | 飯島 善時 (日本電子)） | |
| 「光電子スペクトルの時間空間におけるコンボリューション処理の検討」 | 東 義隆（NIMS） | |
| −昼食(100分)−※研究会では準備致しませんので、各自でお取り下さい | ||
| 13:30〜14:30 | 基礎講座(講演50分+質疑10分) | |
| 「オージェ分析の歴史-4」 | 田中 彰博（アルバック・ファイ） | |
| 14:30〜15:45 | 話題提供 | |
| 「XPSにおける中和条件に依存した試料損傷の評価」 | 井上 りさよ（アルバック・ファイ） | |
| 「MOS構造のバイアス印加下XPS：界面電荷蓄積の様子を見る」 | 吉武 道子(NIMS) | |
| 「AES,XPS共用のバックグラウンド処理プログラム」 | 城 昌利 (AIST) | |
| 15:45〜15:55 | 連絡事項 | |
| 15:55〜16:00 | 閉会挨拶 | 田沼繁夫 (会長：NIMS) |
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