第30回表面分析研究会プログラム
「表面分析関連技術の新たな展開」２００７年６月１８日（月）１３：３０〜６月１９日（火）１５：１５
| ６月１８日（月） | ||
| 12:30〜13:00 | 参加受付 | |
| 13:00〜13:05 | 開会挨拶 | 柳内克昭（TDK) |
| 13:05〜14:45 | テーマ講演「表面分析関連技術の新たな展開」第1部 (2件:講演40分+質疑10分) | |
| 「二次の非線形光学像で観察する固体表面と植物」 | 水谷五郎（北陸先端科学技術大学院大学） | |
| 「超高真空SEMから低真空SEMまで 」 | 関口隆史（物質・材料研究機構） | |
| −休憩(15分)− | ||
| 15:00〜16:30 | テーマ講演「表面分析関連技術の新たな展開」第2部 (3件:講演25分+質疑5分) | |
| 「大気中光電子分光装置の概要」 | 中島 嘉之（理研計器） | |
| 「AESによる酸化鉄の状態分析」 | 堤 建一（日本電子） | |
| 「最近のToF-SIMS」 | 奥平 秀和 (日立ハイテクトレーティング) | |
| −休憩(10分)− | ||
| 16:40〜17:40 | テーマ講演「表面分析関連技術の新たな展開」第3部 (2件:講演25分+質疑5分) | |
| 「真空紫外光による表面洗浄」 | 佐々木 亘 (NTP) | |
| 「クロスセクションポリッシャー(CP)の表面分析前処理への応用」 | 中村佳澄 (昭和電工) | |
| 18:30〜20:30 | 懇親会（夕食） | |
| 20:30〜22:00 | プロジェクト討議 | |
| ６月１９日（火） | ||
| 09:00〜09:50 | 平成19年度 VAMAS-TWA2の活動について | VAMAS-TWA2国内対応委員会 |
| −休憩(10分)− | ||
| 10:00〜11:30 | プロジェクト報告および全体討議（90分）（2件:講演20分） | |
| 「シリコン酸化物の電子線損傷現象の試料間の差異」 | 森 行正（日本ガイシ） | |
| 「XPS測定時の損傷評価と標準物質に関するラウンドロビンテスト」 | 鈴木 昇（宇都宮大学） | |
| 各プロジェクトからの報告 | 各プロジェクトリーダー | |
| −昼食(90分)−※研究会では準備致しませんので、各自でお取り下さい | ||
| 13:00〜14:00 | 基礎講座(講演50分+質疑10分) | |
| 「オージェ分析の歴史-3」 | 田中 彰博（アルバック・ファイ） | |
| 14:00〜15:00 | 話題提供（2件:講演20分＋質疑10分） | |
| 「固体元素中における50 - 30,000eVのエネルギー範囲における電子阻止能のエネルギー依存性」 | 熊谷和博（筑波大学） | |
| 「何を補正の手かがりにするか −金属Si Si 2pスペクトルのシフト−」 | 福島 整（物材機構） | |
| 15:00〜15:10 | 連絡事項 | |
| 15:10〜15:15 | 閉会挨拶 | 田沼繁夫 (会長：物質・材料研究機構) |
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