第28回表面分析研究会プログラム
「最表面に対する評価解析技術の現状と課題」２００６年６月１９日（月）１３：3０〜６月２０日（火）１３：００
| ６月１９日（月） | ||
| 13:00〜13:30 | 参加受付 | |
| 13:30〜13:35 | 開会挨拶 | 柳内克昭（TDK) |
| 13:35〜15:45 | テーマ講演「最表面に対する評価解析技術の現状と課題」 | |
| 「最先端開発現場における最表面分析の役割と重要性」(講演10分) | 中村 誠（富士通研究所） | |
| 「極薄酸化膜形成のリアルタイム表面分析」(講演50分+質疑10分) | 高桑雄二（東北大学） | |
| 「ToF-SIMSによる実用材料の最表面解析」(講演25分+質疑5分) | 阿部芳巳（三菱化学科学技術研究センター） | |
| 「低加速電圧SEMによる実用材料の最表面解析」(同上) | 橋本 哲（JFEテクノ） | |
| 休憩（15分） | ||
| 16:00〜16:30 | PSA-05 Powell賞受賞記念講演(講演25分+質疑5分) | |
| 「電子線励起超軟X線分光分析装置による超軟X線スペクトルの観察」 | 福島 整（物質・材料研究機構） | |
| 16:30〜17:30 | 基礎講座(講演50分+質疑10分) | |
| 「電子光学入門〜これまでのまとめ」 | 吉原一紘（アルバック・ファイ） | |
| 18:00〜20:00 | 懇親会（夕食） | |
| 20:30〜22:00 | プロジェクト討議 | |
| ６月２０日（火） | ||
| 09:00〜10:20 | 話題提供（4件:講演15分＋質疑5分） | |
| 「超軟X線分光による化学状態分析の可能性」 | 木村 隆（物質・材料研究機構） | |
| 「GaAs/AlAs超格子のミクロンオーダーの深い領域での極薄層の分析」 | 星 孝弘（アルバック・ファイ） | |
| 「XPSによる薄膜測定の標準化の調査」 | 田沼繁夫（物質・材料研究機構） | |
| 「ミニカップを用いた絶対CMAの透過率計測」 | アデル・アルカフリ（名古屋工業大学） | |
| 休憩（10分） | ||
| 10:30〜11:10 | PSA-05注目ポスター発表（2件:講演15分＋質疑5分） | |
| 「炭素材料の二次電子放出特性」 | 荒木祥和（日産アーク） | |
| 「FE-SEM/EDSとFE-EPMAによる微細組織評価」 | 青柳岳史（物質・材料研究機構） | |
| 休憩（10分） | ||
| 11:20〜12:50 | プロジェクト報告および全体討議（90分） | |
| 各プロジェクトからの報告と討議 | ||
| プロジェクトの今後のあり方について | ||
| 12:50〜12:55 | 連絡事項 | |
| 12:55〜13:00 | 閉会挨拶 | 田沼繁夫 (物質・材料研究機構) |
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