6月21日(月) |
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12:30〜13:00 |
研究会受付 |
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13:00〜13:05 |
開会挨拶
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柳内克昭(TDK) |
13:05〜13:45 |
PSA-03/Powell賞受賞記念講演
「ToF-SIMS,XPSによるCdSe半導体ナノ結晶の配位構造解析」
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阿部芳巳(三菱化学) |
13:45〜15:25 |
テーマ講演 第1部
「実用表面分析における表面電子励起現象(2)」
(2件;講演45分+質疑5分)
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「表面電子励起効果に関する研究の現状(2)」 |
永富隆清(大阪大学) |
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「XPSの定量分析における表面電子励起」 |
橋本 哲(鋼管計測) |
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<休憩(15分)> |
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15:40〜16:40 |
テーマ講演 第2部
「分析現場における表面分析の活用事例」
(2件;講演25分+質疑5分) |
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「金属-絶縁物複合材料の帯電現象」 |
森 行正(日本ガイシ) |
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「製造工程における局所・表面分析活用の現状」 |
柳内克昭(TDK) |
16:40〜17:40 |
「絶対CMAのコーティング(仕事関数)と透過率計測、とSPring8の霧箱観測」 |
後藤敬典
(名古屋工業大学) |
18:00〜20:00 |
懇親会(夕食) |
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20:30〜22:00 |
プロジェクト討議(各コテージ) |
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22:00〜 |
ミッドナイトディスカッション |
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6月22日(火) |
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9:00〜10:40 |
話題提供
(4件;講演20分+質疑 5分) |
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「パラレルXPSイメージングと新型検出器」 |
高橋和裕
(Kratos Analytical) |
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「Alの状態分析について」 |
速水弘子(住金テクノ) |
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「AFMによるCD-R記録部の評価」 |
白砂健司(TDK) |
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「角度分解XPSと最大エントロピー法による薄膜解析」 |
坂本文孝
(サーモエレクトロン) |
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<休憩(20分)> |
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11:00〜12:45 |
プロジェクト関連報告 |
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「ISO TR15969 Depth Profilingの邦訳紹介」 |
新谷龍二(住金テクノ)
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「プロジェクト活動報告」 |
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・バックグラウンド |
田沼繁夫
(物質・材料研究機構) |
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・電子線照射損傷 |
木村 隆
(物質・材料研究機構) |
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・有機物損傷 |
當麻 肇(日産アーク) |
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・SERD |
新谷龍二(住金テクノ) |
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・表面汚染炭化水素 |
小泉あゆみ
(新光電気工業) |
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他 |
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12:45〜12:55 |
連絡事項 |
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12:55〜13:00 |
閉会挨拶 |
田沼繁夫
(物質・材料研究機構) |